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半導(dǎo)體溫控系統(tǒng)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器（部分設(shè)備）、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清顯示屏，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過機(jī)組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

TCU溫度控制系統(tǒng)是一種集成了溫度傳感器、控制器和加熱/冷卻裝置的設(shè)備。它通過監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度并根據(jù)預(yù)設(shè)的溫度設(shè)定值自動(dòng)調(diào)節(jié)加熱或冷卻裝置，以達(dá)到所需的溫度控制目標(biāo)。

　高低溫一體循環(huán)機(jī)結(jié)合了高低溫控制技術(shù)與循環(huán)技術(shù)，能夠在溫度條件下，提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境，并且可以實(shí)時(shí)控制和調(diào)整溫度。這一設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、化學(xué)物理等領(lǐng)域，為科研人員提供了有力的實(shí)驗(yàn)條件支持。

晶圓生產(chǎn)完成后，需要對(duì)其進(jìn)行各種參數(shù)的檢測(cè)，在檢測(cè)的過程中，需要在不同溫度下進(jìn)行測(cè)試，晶圓測(cè)試用溫控設(shè)備（晶圓測(cè)試溫控系統(tǒng)）是高精度，高分辨率，高穩(wěn)定性的控制設(shè)備。

高低溫循環(huán)溫控系統(tǒng)，高低溫循環(huán)系統(tǒng)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。

高低溫冷卻液測(cè)試機(jī)具有熱力學(xué)溫度控制系統(tǒng)，一系列功能滿足不同的應(yīng)用要求，帶有彩色觸摸屏，簡(jiǎn)潔的導(dǎo)航菜單，重要參數(shù)一目了然，以圖線方式顯示實(shí)時(shí)的溫度變化，配有泵技術(shù)，優(yōu)化熱傳遞。

反應(yīng)釜溫度控制系統(tǒng)(反應(yīng)釜溫控系統(tǒng))采用磁耦合高溫循環(huán)泵，杜絕系統(tǒng)泄漏風(fēng)險(xiǎn)、密封好，流速大，確保設(shè)備能更快為外部系統(tǒng)換熱。配備人性化7英寸真彩LCD觸摸屏，良好的人機(jī)交互界面，直觀顯示本機(jī)參數(shù)及外部控溫參數(shù)。